三甲基氯硅烷（trimethyl chlorosilane）为无色透明液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢。硅-卤键化合物。在工业上，已形成规模生产能力，一般采用氯甲烷和硅粉在催化剂作用下直接合成，经分馏得到纯品。
三甲基氯硅烷化学性质
分子量：108.84
熔点：-40℃
沸点：57.6℃
液体密度(25℃)：854kg/m
表面张力(20℃)：0.01776N/m
(30℃)：0.01688N/m
(40℃)：0.01601N/m
折射率(25℃)：1.3893
闪点：-27.7℃
三甲基氯硅烷在常温常压下为元色透明易挥发易燃液体。极易水解，遇水蒸气发出有毒的腐蚀性烟雾。遇水发热，并水解放出游离盐酸。溶于苯、醚、过氯乙烯等。遇强氧化剂和明火有引起燃烧的危险。
三甲基氯硅烷制备方法
氯甲烷与硅粉在氯化亚铜催化下一步直接合成，生成甲基氯硅烷混合物，经精馏提纯可得三甲基氯硅烷及其他单体。实验室制备可将四甲基硅烷与乙酰氯在三氯化铝存在下反应。
三甲基氯硅烷用途
有机合成中间体，制备硅酮树脂、硅橡胶、高温粘合剂等的原料，密封剂，干燥剂，脱水剂。
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